多晶硅生产精馏过程中主要是除去哪些物质?哪些物质易除去?哪些物质难除去?
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/01 13:56:19
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需要去除含有硼、磷、砷、铁、铝、碳等元素的物质.
铁(例如氯化铁)易除去,
碳(例如碳氢氯硅化合物)难除去
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