请问单晶炉各个石墨件的价格,哪些属于易损件,每个石墨件的具体寿命.压环、上下保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓、电极护套、
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/06 15:31:31
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请问单晶炉各个石墨件的价格,哪些属于易损件,每个石墨件的具体寿命.
压环、上下保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓、电极护套、托杆护套、护盘压板、炉底护盘
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价格我没法回答你,因为你没有提供尺寸,不同的尺寸价格不同
压环可以无限使用,除非人为损坏.上保温盖也不会坏,下保温盖会坏,石墨坩埚好的寿命可以用到70炉以上,差的30炉,托杆一般也不会坏,托盘只要不漏硅也不会坏,加热器看材质,一般100炉,导流筒内不易坏,外不小心容易浸硅,石墨螺栓属于易损件,那些护套都不容易坏的,护盘压片比较容易坏,30-50炉的样子吧,炉底护盘除非漏硅.有什么问题可以和我探讨.
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